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标题
Role of counter-anion chemistry, free volume, and reaction byproducts in chemically amplified resists
反阴离子化学、自由体积和反应副产物在化学放大抗蚀剂中的作用
相关领域
抵抗 催化作用 平版印刷术 化学 离子 体积热力学 纳米技术 化学反应 扩散 动力学 化学物理 材料科学 有机化学 热力学 物理 图层（电子） 量子力学 光电子学
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.22.3.034601
DOI
10.1117/1.jmm.22.3.034601 doi
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喜悦的听云 在 2025-07-08 13:45:50 发布自美国，悬赏 20 积分
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