Microscopic stress analysis of nanoscratch induced sub-surface defects in a single-crystal silicon wafer - 科研通

发布文献求助

已完结

文献求助详情

标题	Microscopic stress analysis of nanoscratch induced sub-surface defects in a single-crystal silicon wafer 单晶硅片纳米划痕亚表面缺陷的微观应力分析相关领域薄脆饼单晶硅纳米压痕缩进材料科学硅机械加工位错复合材料碳化硅压力（语言学）单晶 Burgers向量各向异性各向同性纳米制造研磨结晶学光学冶金纳米技术物理哲学化学语言学
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2023.04.006
DOI	10.1016/j.precisioneng.2023.04.006 doi
其它	期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Ning Huang; Ping Zhou; Saurav Goel 出版日期：2023-04-15
求助人	Lee 在 2025-06-24 15:13:44 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2026-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 跳跃曼文完成签到，获得积分10

2秒前; 英姑上传了应助文件

2秒前; dengqin完成签到，获得积分10

4秒前; Maple发布了新的文献求助30

4秒前; 我爱螺蛳粉完成签到，获得积分10

5秒前; rockyshi发布了新的文献求助10

8秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

9秒前; 传奇3上传了应助文件

11秒前; 张恺发布了新的文献求助10

11秒前; lin关注了科研通微信公众号

12秒前; mamamiya发布了新的文献求助10

13秒前; 杀出个黎明举报求助违规成功
14秒前; jenningseastera举报求助违规成功
14秒前; yznfly举报求助违规成功
14秒前; 科研通管家关闭了风中浩天的文献求助

14秒前; 栗子栗栗子完成签到，获得积分20

15秒前; 今后的应助被安静的慕凝采纳，获得10

16秒前; 懵懂的火龙果发布了新的文献求助10

17秒前; 传奇3上传了应助文件

18秒前; 汉堡包的应助被mamamiya采纳，获得10

19秒前; 高大靖仇完成签到，获得积分10

19秒前; FashionBoy上传了应助文件

20秒前; 甘sir发布了新的文献求助20

20秒前; 英俊的铭上传了应助文件

21秒前; zcg发布了新的文献求助10

21秒前; 丘比特上传了应助文件

21秒前; 小熊上传了应助文件

21秒前; 请叫我风吹麦浪的应助被Maple采纳，获得10

21秒前; Longer发布了新的文献求助10

22秒前; 杀出个黎明举报求助违规成功
24秒前; Singularity举报求助违规成功
24秒前; 轻松元柏举报求助违规成功
24秒前; 科研通管家关闭了潇洒的帽子的文献求助

24秒前; ddsgsd发布了新的文献求助10

25秒前; ss发布了新的文献求助10

25秒前; 李健的粉丝团团长的应助被小马想毕业采纳，获得10

25秒前; 清酒上传了应助文件

25秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

25秒前; 东京芝士123发布了新的文献求助10

26秒前; Hello的应助被苏颜玉采纳，获得10

28秒前

高分求助中: The Mother of All Tableaux Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 1370; 生物降解型栓塞微球市场（按产品类型、应用和最终用户）- 2030 年全球预测 1000; Lidocaine regional block in the treatment of acute gouty arthritis of the foot 400; Ecological and Human Health Impacts of Contaminated Food and Environments 400; Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360; International Relations at LSE: A History of 75 Years 308; Commercial production of mevalonolactone by fermentation and the application to skin cosmetics with anti-aging effect 300

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3930081; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3475140; 关于积分的说明 10985220; 捐赠科研通 3205148; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1771016; 邀请新用户注册赠送积分活动 858888; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 796853

今日热心研友

请叫我风吹麦浪

剑指东方是为谁

明理的凌香

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通