Parametric Model of Resonant Differential MEMS Pressure Sensors: Enabling Rapid Structural Optimization and Automated Layout Design

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标题	Parametric Model of Resonant Differential MEMS Pressure Sensors: Enabling Rapid Structural Optimization and Automated Layout Design 谐振差分MEMS压力传感器的参数化模型：实现快速结构优化和自动化布局设计相关领域灵敏度（控制系统）参数统计有限元法参数化复杂度计算机科学微电子机械系统参数化设计蒙特卡罗方法实验设计参数化模型压力传感器算法电子工程机械工程数学材料科学结构工程工程类统计光电子学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6501/ad95a9
DOI	10.1088/1361-6501/ad95a9 doi
其它	期刊：Measurement Science and Technology 作者：Aobei Chen; Ge Gao; Dapeng Li; Rui Na; Dezhi Zheng 出版日期：2024-11-21
求助人	房东在 2025-04-12 14:09:06 发布自重庆，悬赏 10 积分
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