Pattern optimizing verification of self-align quadruple patterning

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标题	Pattern optimizing verification of self-align quadruple patterning 自对准四重图形的图形优化验证相关领域心轴可控性临界尺寸多重图案计算机科学平滑的缩放比例平版印刷术制作 GSM演进的增强数据速率纳米技术材料科学机械工程抵抗光电子学光学工程类物理图层（电子）人工智能病理几何学医学数学替代医学计算机视觉应用数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2258154
DOI	10.1117/12.2258154 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Masatoshi Yamato; Kazuki Yamada; Kenichi Oyama; Arisa Hara; Sakurako Natori; et al 出版日期：2017-04-05
求助人	waye131 在 2025-03-06 10:54:40 发布自上海，悬赏 20 积分
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