| 标题 |  Trench Etch for SiC Power Devices SiC功率器件的沟槽蚀刻 相关领域 
                                                                                                                                    
                                                                        
                                                                            沟槽                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            材料科学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            舍入                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            光电子学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            蚀刻(微加工)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            MOSFET                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            宽禁带半导体                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            碳化硅                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            基质(水族馆)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            绝缘栅双极晶体管                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            电气工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            工程物理                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            电子工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            纳米技术                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            计算机科学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            图层(电子)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            晶体管                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            复合材料                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            工程类                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            海洋学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            电压                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
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                                                                            操作系统                                                                        
                                                                    
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| 其它 | 期刊:2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者:Xiaoyu Tan; Qiushi Xie 出版日期:2022-06-20 | 
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