Fabrication of wafer-scale nanopatterned sapphire substrate by hybrid nanoimprint lithography

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标题	Fabrication of wafer-scale nanopatterned sapphire substrate by hybrid nanoimprint lithography
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.4898778
DOI	10.1116/1.4898778 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Xu Guo; Jing Hu; Zhe Zhuang; Mengmeng Deng; Feixiang Wu; et al 出版日期：2014-10-22
求助人	啦啦啦啦在 2026-07-01 11:30:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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