| 标题 |
 Femtosecond laser burst mode combined with wet etching for fabricating surface microholes on sapphire 相关领域
材料科学
飞秒
制作
蓝宝石
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
激光器
表面粗糙度
光电子学
表面光洁度
光学
反应离子刻蚀
干法蚀刻
薄脆饼
突发模式（计算）
纳米技术
通量
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| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Applied Physics A 作者：Xiang Jiang; Xiong Xu; Haibo Zhou; Cong Wang; Xuemin Jia; et al 出版日期：2025-10-20 |
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