SiO2 atomic-layer fluorination-passivation for dual-material molybdenum/polypyrrole area-selective deposition and strategies for surface reactivation

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标题	SiO2 atomic-layer fluorination-passivation for dual-material molybdenum/polypyrrole area-selective deposition and strategies for surface reactivation
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004298
DOI	10.1116/6.0004298 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Hwan Oh; Hyuenwoo Yang; N Carroll; Yujin Jang; Gregory N. Parsons 出版日期：2025-03-14
求助人	TY 在 2026-09-20 21:46:29 发布自上海，悬赏 10 积分
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