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标题
(Best Student Presentation Award) Reduced Pressure – Chemical Vapor Deposition of Monocrystalline and Polycrystalline Si(:B) and SiGe(:B) Layers on Blanket Wafers
网址
http://dx.doi.org/10.1149/ma2022-02321214mtgabs
DOI
10.1149/ma2022-02321214mtgabs doi
其它 期刊：ECS Meeting Abstracts
作者：Justine Lespiaux; Fabien Deprat; Jérémy Vives; Romain Duru; Mehmet Bicer; et al
出版日期：2022-10-09
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车车 在 2026-08-20 10:34:16 发布自陕西，悬赏 10 积分
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