Fabrication and characterization of TiO2 and SiO2 as protective coating for Mo/Si multilayer by ion beam sputtering

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标题	Fabrication and characterization of TiO2 and SiO2 as protective coating for Mo/Si multilayer by ion beam sputtering
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114287
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114287 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：D. J. Yao; Zhe Zhang; Zhe Zhang; Xinyi Liu; Qiushi Huang; et al 出版日期：2025-03-29
求助人	闪闪在 2026-09-05 17:26:02 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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