Effect of Sputtering Power on Structure and Plasma Resistance of Yttrium Oxide Coatings for Semiconductor Etching

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标题	Effect of Sputtering Power on Structure and Plasma Resistance of Yttrium Oxide Coatings for Semiconductor Etching
网址	http://dx.doi.org/10.1002/adem.71081
DOI	10.1002/adem.71081 doi
其它	期刊：Advanced Engineering Materials 作者：Jianxiong Gao; Qin Cui; Deen Sun; Cunxiu Zhang; Shuang Peng; et al 出版日期：2026-07-10
求助人	十大在 2026-07-11 18:21:27 发布自重庆，悬赏 10 积分
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