Patterning and characterization of 2D photonic crystals fabricated by focused ion beam etching of multilayer membranes

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标题	Patterning and characterization of 2D photonic crystals fabricated by focused ion beam etching of multilayer membranes 聚焦离子束刻蚀多层膜制备二维光子晶体的图案化与表征相关领域材料科学聚焦离子束表征（材料科学）膜蚀刻（微加工）离子束光电子学光子晶体离子反应离子刻蚀梁（结构）纳米技术光学生物物理量子力学图层（电子）遗传学
网址	http://stacks.iop.org/0957-4484/15/i=3/a=019/pdf
DOI	10.1088/0957-4484/15/3/019 doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：N A Paraire; P G Filloux; K Wang 出版日期：2004-01-13
求助人	滴滴在 2024-03-01 17:40:29 发布自山东，悬赏 10 积分
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