A lithography machine air shower temperature control algorithm based on Smith predictor and variable universe fuzzy PID control

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标题	A lithography machine air shower temperature control algorithm based on Smith predictor and variable universe fuzzy PID control
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/ae8d46
DOI	10.1088/1361-6501/ae8d46 doi
其它	期刊：Measurement Science and Technology 作者：Haiyang Zhao; Yupu Wang; Yang Sui; Bing Wang; Yong Yang 出版日期：2026-07-21
求助人	你好在 2026-10-11 23:43:21 发布自山东，悬赏 10 积分
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