| 标题 |
Silicon Carbide MEMS Capacitive Pressure Sensor for Harsh Environments 用于恶劣环境的碳化硅MEMS电容式压力传感器
相关领域
碳化硅
电容感应
微电子机械系统
材料科学
压力传感器
稳健性(进化)
航空航天
硅
光电子学
振膜(声学)
座舱增压
电子工程
电气工程
机械工程
航空航天工程
工程类
复合材料
扬声器
化学
基因
生物化学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊: 作者:Zhibang Chen; Wei Du; Feng Zhao 出版日期:2013-11-15 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|