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标题
Atomic layer deposition of HZO ferroelectric films beyond the upper thickness limit via tetragonal-phase nucleation engineering
网址
http://dx.doi.org/10.1063/5.0305962
DOI
10.1063/5.0305962 doi
其它 期刊：Applied Physics Reviews
作者：Binjian Zeng; Xikang Li; Kang Zhou; Qijun Yang; Changfan Ju; et al
出版日期：2026-01-06
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自由南松 在 2026-07-07 15:35:32 发布自湖南，悬赏 10 积分
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