Sub-surface Damage of Ultra-Thin Monocrystalline Silicon Wafer Induced by Dry Polishing

已完结

文献求助详情

标题	Sub-surface Damage of Ultra-Thin Monocrystalline Silicon Wafer Induced by Dry Polishing
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s13391-020-00226-z
DOI	10.1007/s13391-020-00226-z doi
其它	期刊：Electronic Materials Letters 作者：Xundi Zhang; Chenlin Yang; Yumei Zhang; Anmin Hu; Ming Li; et al 出版日期：2020-06-04
求助人	怕黑的怀寒在 2026-07-08 14:34:56 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Akim上传了应助文件

1秒前; 所所上传了应助文件

1秒前; 单色完成签到，获得积分10

2秒前; 懦弱的咖啡豆完成签到，获得积分10

3秒前; bkagyin的应助被邪恶白馒头采纳，获得10

3秒前; 科研通AI6.3上传了应助文件

4秒前; mzk发布了新的文献求助10

5秒前; Jasper上传了应助文件

6秒前; 小小兵发布了新的文献求助30

7秒前; 稳重的傥发布了新的文献求助10

7秒前; ZED发布了新的文献求助50

7秒前; 白雪皑皑发布了新的文献求助10

8秒前; 11完成签到，获得积分10

10秒前; Jasper的应助被科研通管家采纳，获得20

10秒前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 华仔的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 大模型的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

10秒前; MchemG的应助被科研通管家采纳，获得20

11秒前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

11秒前; 丁晨发布了新的文献求助10

11秒前; zq完成签到，获得积分10

13秒前; howay发布了新的文献求助10

14秒前; Orange的应助被灝男采纳，获得10

15秒前; 充电宝上传了应助文件

17秒前; 研友_nVqYPL完成签到，获得积分10

17秒前; Nole上传了应助文件

18秒前; 小欣完成签到，获得积分10

19秒前; ye上传了应助文件

20秒前; CipherSage上传了应助文件

20秒前; 尊敬依珊完成签到，获得积分10

22秒前; bytuo发布了新的文献求助10

23秒前; 超帅谷槐发布了新的文献求助20

23秒前; iris关注了科研通微信公众号

23秒前; 小小兵关闭了小小兵的文献求助

24秒前; 科研通AI6.3上传了应助文件

24秒前