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标题
Investigation of ICP dry etching of InAs/GaSb type-II superlattice LWIR photodetector
网址
https://doi.org/10.1117/12.2588043
DOI
10.1117/12.2588043 doi
其它 期刊：
作者：Hyun Chul Jung; Ko Ku Kang; Seong Min Ryu; Tae Hee Lee; Jong Gi Kim; et al
出版日期：2021-04-09
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冰封竹影 在 2026-08-28 12:01:21 发布自日本，悬赏 20 积分
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