Carrier gas flow rate effects on additive-assisted low-temperature Y2O3 film deposition by atmospheric pressure plasma jet

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标题	Carrier gas flow rate effects on additive-assisted low-temperature Y2O3 film deposition by atmospheric pressure plasma jet
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109365 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Bat-Orgil Erdenezaya; Md. Shahiduzzaman; Hirochika Uratani; Ruka Yazawa; Yusuke Nakano; et al 出版日期：2025-02-12
求助人	楼下太吵了在 2026-10-03 13:20:02 发布自天津，悬赏 10 积分
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