Simulation Study of Capacitively Coupled Oxygen Plasma with Plasma Chemistry including Detailed Electron Impact Reactions

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标题	Simulation Study of Capacitively Coupled Oxygen Plasma with Plasma Chemistry including Detailed Electron Impact Reactions
网址	https://doi.org/10.14478/ACE.2011.22.6.711
DOI	10.14478/ace.2011.22.6.711 doi
其它	期刊：Applied Chemistry for Engineering 作者：Heon Chang Kim 出版日期：2011-12-10
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