Dopant species with Al–Si and N–Si bonding in the MOCVD of AlN implementing trimethylaluminum, ammonia and silane

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标题	Dopant species with Al–Si and N–Si bonding in the MOCVD of AlN implementing trimethylaluminum, ammonia and silane
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/48/29/295104
DOI	10.1088/0022-3727/48/29/295104 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：R B dos Santos; R Rivelino; F de Brito Mota; G K Gueorguiev; A Kakanakova-Georgieva 出版日期：2015-06-29
求助人	hui 在 2026-11-01 15:53:12 发布自湖南，悬赏 10 积分
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