Atomic layer deposition of Y-stabilized ZrO2 for advanced DRAM capacitors

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标题	Atomic layer deposition of Y-stabilized ZrO2 for advanced DRAM capacitors
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2017.06.036
DOI	10.1016/j.jallcom.2017.06.036 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Bo‐Eun Park; Il‐Kwon Oh; Chandreswar Mahata; Chang Wan Lee; David Thompson; et al 出版日期：2017-06-08
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