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标题
Study the Passivation Characteristics of Microwave Annealing Applied to APALD Deposited Al2O3 Thin Film
微波退火对APALD沉积Al2O3薄膜钝化特性的研究
相关领域
钝化 薄脆饼 微波食品加热 退火（玻璃） X射线光电子能谱 材料科学 电介质 薄膜 分析化学（期刊） 原子层沉积 光电子学 穿透深度 电子工程 复合材料 纳米技术 化学工程 图层（电子） 光学 化学 计算机科学 工程类 物理 电信 色谱法
网址
https://www.mdpi.com/2079-6412/11/12/1450/pdf?version=163827...
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/coatings11121450 doi
其它 期刊：Coatings
作者：Yu‐Chun Huang; Ricky W. Chuang; Keh-Moh Lin; Tsung-Chieh Wu
出版日期：2021-11-25
求助人
冷静的手机 在 2025-12-07 12:23:58 发布自江西，悬赏 10 积分
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