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Novel Energetic Co-Reactant for Thermal Oxide Atomic Layer Deposition: The Impact of Plasma-Activated Water on Al2O3 Film Growth
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网址
https://www.mdpi.com/2079-4991/13/24/3110/pdf?version=170219...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.gov nih.gov doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/nano13243110 doi
其它 期刊：Nanomaterials
作者：João Pedro Chaves; William Chiappim; Júlia Karnopp; Benedito Donizeti Botan-Neto; Douglas Marcel Gonçalves Leite; et al
出版日期：2023-12-10
求助人
wying 在 2026-01-06 11:26:26 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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