Silicon knife-edge taper waveguide for ultralow-loss spot-size converter fabricated by photolithography

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标题	Silicon knife-edge taper waveguide for ultralow-loss spot-size converter fabricated by photolithography 相关领域光刻材料科学步进电机硅光学蚀刻（微加工）横截面 GSM演进的增强数据速率光电子学极化（电化学）波导管干法蚀刻光掩模抵抗复合材料纳米技术物理工程类物理化学结构工程图层（电子）电信化学
网址	https://doi.org/10.1063/1.4795308
DOI	10.1063/1.4795308 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Ryohei Takei; Masao Suzuki; Emiko Omoda; Shoko Manako; Toshihiro Kamei; et al 出版日期：2013-03-11
求助人	小孙在 2026-01-07 14:27:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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