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 Strain-Engineering of Aluminum Scandium Nitride Films Grown Directly on Silicon by Utilizing a Gradient Seed Layer: Application of 4D-STEM Technique 相关领域
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期刊：Microscopy and Microanalysis 作者：Pariasadat Musavigharavi; Rossiny Beaucejour; Roy H. Olsson; Eric A. Stach 出版日期：2022-07-22 |
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