标题 |
Heterogeneous integration of lithium tantalate thin film on quartz for high performance surface acoustic wave resonator
用于高性能声表面波谐振器的钽酸锂薄膜在石英表面的非均匀集成
相关领域
钽酸锂
材料科学
谐振器
声表面波
钽酸盐
薄脆饼
石英
基质(水族馆)
谐振器耦合系数
衍射
机电耦合系数
锂(药物)
薄膜
光学
光电子学
压电
复合材料
铌酸锂
铁电性
纳米技术
物理
电介质
医学
海洋学
内分泌学
地质学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Yang Chen; Jinbo Wu; Xiaoyan Zhao; Zhongxu Li; Xinjian Ke; et al 出版日期:2022-12-23 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|