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 High-Sensitivity Magnetic Field Sensors Manufactured Utilizing CMOS-MEMS Technology 利用CMOS-MEMS技术制造的高灵敏度磁场传感器
相关领域
CMOS芯片
微电子机械系统
灵敏度（控制系统）
材料科学
磁场
光电子学
电气工程
电子工程
工程类
物理
量子力学
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Zhi‐Xuan Dai; Robert C. Tsai; Qing-Hua Shih 出版日期：2025-01-01 |
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