Effect of fluorine on boron diffusion in thin silicon dioxides and oxynitride

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标题	Effect of fluorine on boron diffusion in thin silicon dioxides and oxynitride 氟对硼在二氧化硅和氮氧化物中扩散的影响相关领域硅氟硼材料科学扩散氮化硅无机化学阿累尼乌斯方程分析化学（期刊）化学活化能物理化学冶金有机化学氮化硅物理热力学
网址	https://doi.org/10.1063/1.359343
DOI	10.1063/1.359343 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Takayuki Aoyama; Kunihiro Suzuki; Hiroko Tashiro; Y. Toda; Tatsuya Yamazaki; et al 出版日期：1995-01-01
求助人	Fighter 在 2025-08-29 14:36:09 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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