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 Enhanced selectivity of atomic layer deposited Ru thin films through the discrete feeding of aminosilane inhibitor molecules 相关领域
原子层沉积
化学吸附
选择性
烷基
图层（电子）
薄膜
制作
材料科学
沉积（地质）
光刻胶
纳米技术
蚀刻（微加工）
可制造性设计
聚合物
化学工程
化学
有机化学
吸附
催化作用
沉积物
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病理
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医学
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jeong‐Min Lee; Jinseon Lee; Ji Won Han; Hwanyeol Park; Se-Jin Kyung; et al 出版日期：2020-10-27 |
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