Heavy-ion-induced degradation mechanisms and supercritical fluid recovery dynamics in Al2O3/β-Ga2O3 metal-oxide-semiconductor capacitors

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标题	Heavy-ion-induced degradation mechanisms and supercritical fluid recovery dynamics in Al2O3/β-Ga2O3 metal-oxide-semiconductor capacitors
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005278
DOI	10.1116/6.0005278 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Puyu Zhai; Yushan Song; Liang Chen; Mingchao Yang; Leidang Zhou; et al 出版日期：2026
求助人	小卢同学在 2026-04-17 22:26:53 发布自浙江，悬赏 10 积分
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