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 Vertical β-Ga2O3 Schottky barrier diodes with low surface roughness 相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
表面粗糙度
光电子学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Jiaxiang Chen; X. Zhang; Maojin Yang; Teng Jiao; Yan Liu; et al 出版日期：2026-03-20 |
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