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Indium-gallium–zinc oxide (IGZO) thin-film gas sensors prepared via post-deposition high-pressure annealing for NO2 detection
沉积后高压退火法制备用于NO2检测的铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜气体传感器
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期刊:Sensors and Actuators B: Chemical 作者:E. Sunil Babu; Hyun-Jin Shin; Nguyen Kim Thah; Ki-Woo Song; Hyun-Woong Choi; et al 出版日期:2022-02-01 |
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