Microscopic to macroscopic modelling of optical defect inspection system - 科研通

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标题	Microscopic to macroscopic modelling of optical defect inspection system 光学缺陷检测系统的微观到宏观建模相关领域多物理光学设计薄脆饼计算机科学半导体器件制造自动光学检测材料科学光学电子工程机械工程光电子学工程类人工智能软件有限元法物理结构工程程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1117/12.2673076
DOI	10.1117/12.2673076 doi
其它	期刊：作者：Yi-Hao Chen; Ling Zhang; Han-Hsiang Cheng; Fernando Gómez; Sandra Gely 出版日期：2023-08-10
求助人	jerry 在 2024-04-12 09:45:10 发布自江苏，悬赏 20 积分
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