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 Atomic Layer Deposition of Al-Doped ZnO Contacts for ZnO Thin-Film Transistors 用于ZnO薄膜晶体管的掺铝ZnO触点的原子层沉积
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期刊：IEEE electron device letters 作者：Ben Daniel Rowlinson; Jie Zeng; J.D. Akrofi; Christian Patzig; Martin Ebert; et al 出版日期：2024-01-01 |
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