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标题
Etching of SiO2 with CO2 and CO2 + Ar+ Lasers
CO2和CO2+Ar+激光刻蚀SiO2
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 激光器 产量（工程） 分析化学（期刊） 吸收（声学） 干法蚀刻 纳米技术 光学 冶金 复合材料 化学 物理 图层（电子） 色谱法
网址
https://doi.org/10.1557/proc-75-395
DOI
10.1557/proc-75-395 doi
其它 期刊：MRS Proceedings
作者：Duo Pan; Bo-nian Dai; B. S. Agrawalla; K. Imen; Susan D. Allen
出版日期：1986-01-01
求助人
沐月 在 2025-06-23 09:48:25 发布自北京，悬赏 10 积分
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