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Etching of SiO2 with CO2 and CO2 + Ar+ Lasers

材料科学蚀刻（微加工）激光器产量（工程）分析化学（期刊）吸收（声学）干法蚀刻纳米技术光学冶金复合材料化学物理图层（电子）色谱法

作者

Duo Pan,Bo-nian Dai,B. S. Agrawalla,K. Imen,Susan D. Allen

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：1986-01-01 卷期号：75 被引量：1

标识

DOI：10.1557/proc-75-395

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