Material removal and damage formation mechanisms in grinding silicon nitride

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标题	Material removal and damage formation mechanisms in grinding silicon nitride 研磨硅氮中的材料去除和损伤形成机制相关领域材料科学氮化硅研磨微观结构磨料加工复合材料磨料陶瓷韧性打滑（空气动力学）硅扫描电子显微镜表面完整性冶金表面粗糙度物理热力学
网址	https://doi.org/10.1557/jmr.1996.0215
DOI	10.1557/jmr.1996.0215 doi
其它	期刊：Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources 作者：Hockin H.K. Xu; Said Jahanmir; L.K. Ives 出版日期：1996-07-01
求助人	科研小刘鸭在 2025-03-20 20:55:13 发布自湖南，悬赏 10 积分
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