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 Exploration of Phosphorus Oxide in Heavily Phosphorus-Doped Polysilicon Films of Tunneling Oxide Passivation Contact Solar Cells 隧穿氧化物钝化接触式太阳电池重磷掺杂多晶硅膜中氧化磷的研究
相关领域
钝化
材料科学
兴奋剂
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磷
图层（电子）
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冶金
工程类
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期刊：ACS applied electronic materials 作者：Yilin Wang; Zixuan Lan; Fei Xu; Lei Zhao; Jing Xu; et al 出版日期：2022-08-09 |
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