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  Assessment of STI dry etch process variability by means of dynamic time warping technique 用动态时间规整技术评估STI干法蚀刻工艺的可变性
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Alexey Milenin; B. T. Chan; Frédéric Lazzarino 出版日期：2023-02-14 |
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