Fabrication of octagonal and dodecagonal single crystal Si micropyramids via etching without using a pre-patterned mask

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标题	Fabrication of octagonal and dodecagonal single crystal Si micropyramids via etching without using a pre-patterned mask
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980011...
DOI	10.1016/j.mssp.2018.12.017 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Haokun Deng; S. Hackney; K. Aifantis 出版日期：2019-04-01
求助人	VIEAAA 在 2026-09-20 20:49:55 发布自中国，悬赏 10 积分
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