High-quality laser slicing of single-crystal semiconductors guided by energy-dependent phase transition and crack propagation: A 4H-SiC case study

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标题	High-quality laser slicing of single-crystal semiconductors guided by energy-dependent phase transition and crack propagation: A 4H-SiC case study
网址	https://doi.org/10.1016/j.ijmachtools.2026.104365
DOI	10.1016/j.ijmachtools.2026.104365 doi
其它	期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture 作者：Zelong Qing; B. J. Liu; Yaoen Luo; Yi Zhang 出版日期：2026-01-06
求助人	斯文念波在 2026-07-03 15:48:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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