Optimizing and well-Controlled Grayscale Electron Beam lithography for planar dual-blazed grating fabrication

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标题	Optimizing and well-Controlled Grayscale Electron Beam lithography for planar dual-blazed grating fabrication
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114540 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Liang Liu; Xiaodong Zhang; Jingyuan Zhu; Siyu Dong; Zeyong Wei; et al 出版日期：2025-06-25
求助人	2994401962 在 2026-08-27 18:03:18 发布自重庆，悬赏 10 积分
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