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 Atomic tailoring of low-thermal-budget and nearly wake-up-free ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 nanoscale thin films by atomic layer annealing 相关领域
铁电性
材料科学
原子层沉积
退火（玻璃）
薄膜
无定形固体
单层
电介质
光电子学
结晶度
纳米技术
复合材料
结晶学
化学
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期刊：Applications of Surface Science 作者：Teng-Jan Chang; Yu-Sen Jiang; Sheng-Han Yi; Chun-Yi Chou; Chin-I Wang; et al 出版日期：2022-03-01 |
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