Low-Temperature Fabrication of Indium Oxynitride Thin-Film Transistors via Plasma-Assisted Solution Process

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标题	Low-Temperature Fabrication of Indium Oxynitride Thin-Film Transistors via Plasma-Assisted Solution Process 等离子体辅助溶液工艺低温制备氧氮化铟薄膜晶体管相关领域等离子体晶体管铟材料科学制作薄膜晶体管过程（计算）氮化硅纳米技术光电子学硅电气工程计算机科学工程类电压物理操作系统病理医学量子力学替代医学氮化硅图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1109/TED.2023.3276334
DOI	10.1109/TED.2023.3276334 doi
求助人	洁净凝阳在 2026-01-02 00:25:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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