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Low temperature bonding for microfabrication of chemical analysis devices 用于化学分析装置微细加工的低温键合
相关领域
阳极连接
材料科学
晶片键合
复合材料
硅
直接结合
微加工
硅酸钠
热压连接
化学键
粘结强度
制作
胶粘剂
图层(电子)
化学
光电子学
医学
病理
有机化学
替代医学
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| 网址 |
求助人暂未提供
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| DOI |
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| 其它 | DOI10.1016/S0925-4005(97)00294-3 |
| 求助人 | |
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