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Microdynamic behaviors of Au/Ni-assisted chemical etching in fabricating silicon nanostructures Au/Ni辅助化学刻蚀制备硅纳米结构的微观动力学行为
相关领域
材料科学
蚀刻(微加工)
硅
纳米结构
各向同性腐蚀
纳米技术
光电子学
图层(电子)
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| 其它 |
期刊:Applied Surface Science 作者:Wenxuan Wu; Yun Chen; Bin Xie; Hengxu Wu; Liang Cheng; et al 出版日期:2025-03-01 |
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