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Effects and modulation mechanism of crystal structure on residual stress of Cu films used for metallization
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网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140556
DOI
10.1016/j.tsf.2024.140556 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Wen J. Li; Wangyu Hu; Xiaobo Zhang; Xinyu Meng; Yixiong Gao; et al
出版日期：2024-10-01
求助人
Charles 在 2025-11-26 14:03:58 发布自江苏，悬赏 10 积分
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