Improved surface morphology and reduced V-pits density of lattice-matched AlInN films grown by atmospheric pressure metalorganic chemical vapor deposition

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标题	Improved surface morphology and reduced V-pits density of lattice-matched AlInN films grown by atmospheric pressure metalorganic chemical vapor deposition 相关领域化学气相沉积材料科学形态学（生物学）大气压力金属有机气相外延沉积（地质）复合材料光电子学外延气象学地质学图层（电子）物理沉积物古生物学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2024.176406
DOI	10.1016/j.jallcom.2024.176406 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Shaosheng Fan; Masao Ikeda; Baoping Zhang; Zenglin Li; Xujun Su; et al 出版日期：2024-09-10
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