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 Thermal oxidation polishing of pressureless sintered silicon carbide 无压烧结碳化硅的热氧化抛光
相关领域
抛光
材料科学
碳化硅
热氧化
化学机械平面化
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热的
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复合材料
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期刊：Ceramics International 作者：Zhichao Geng; Chenghao Chen; Peizhi Wang; Fengzhou Fang 出版日期：2023-12-13 |
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(2025-6-4)
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