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 Simple technique for beam focusing in electron beam lithography on optically transparent substrates 光学透明衬底电子束光刻中光束聚焦的简单技术
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Michael L. Schuette; Lu Wu 出版日期：2009-11-01 |
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